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薄膜工学 貸出可

日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画,金原 粲／監修,吉田 貞史／編著,近藤 高志／編著 -- 丸善出版 -- 2016.11 -- 549.8

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所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 貸出区分 状態 備考
外部公一  549.8-ハク-2016 5105849944 一般 　 利用可 iLisvirtual

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タイトル 薄膜工学 
版表示 第3版
著者 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画,金原 粲／監修,吉田 貞史／編著,近藤 高志／編著 
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年 2016.11
ページ数 10,302p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類(10版) 549.8
NDC分類(9版) 549.8
ISBN 4-621-30098-5   国立国会図書館   カーリル   GoogleBooks
ISBN(新) 978-4-621-30098-5
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。

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